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名称:化学分析用电子能谱法;electron spectroscopy for chemical analysis;ESCA
      一定能量的电子、X射线或紫外光作用于试样表面,产生光电子。分析光电子的能量分布,得到光电子能谱。包括两种能谱:X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)。前者以能量较高的X射线作激发源,可以把电子内层电子激发成自由电子,主要用于研究试样表面组成和结构;后者以紫外光作激发源,只能激发原子的价电子,是研究量子化学等的重要手段。有时把X射线光电子能谱就称为ESCA。

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