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名称:织构定向沉积;orientated deposition for texture
      织构化技术的一种。使一些易于挥发的金属化合物在基片上沿热流方向沉积成具有一定取向的陶瓷薄膜的工艺。气相生长、蒸镀和溅射均可使沉积的陶瓷薄膜成为织构材料,如在一定的电场、磁场和气氛下进行沉积还可获得更佳的效果。溅射工艺获得的氧化锌陶瓷薄膜,取向度可达90%,其电、光和声的性能已接近氧化锌单晶层,是一种良好的声表面波材料。硫化镉硫化锌钛酸钡、Bi4Ti3O12、PZT,PLZT和Bil2GeO2O等材料的定向薄膜的很多物理性能已类似于单晶薄膜。

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