在火焰、电弧、火花光谱激发光源作用下，激发区域气态物体电离，有分子、原子、离子和电子存在，总体上呈电中性，故称等离子体。电离状态的气体物质，由带有负电荷的粒子、电子)和带有正电荷的粒子、硝酸、碳化物、氮化物以及形成薄膜。

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