分子式：AsH3
CAS号：
性质：又称砷化三氢。无色、剧毒、可燃气体。气体密度3.24kg/m3(20℃)；液体密度1339kg/m3(20℃)，1259kg/m3(40.6℃)。沸点-62.5℃。熔点-116.9℃。在空气中可燃限4.5％～64％(体积)。有大蒜气味。是一种溶血性毒物，可使神经中毒。微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等溶剂起反应，生成砷的化合物。在室温下稳定，于230～240℃下开始分解。TLV0.05×10-6(0.2mg/m3)。采用金属砷与锌反应生成锌化砷(As2Zn3)，As2Zn3再与硫酸反应制得粗砷烷，经多级吸附纯化可制得高纯砷烷产品。砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂；硅中n型扩散；离子注入；生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体。
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