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首页>化工词典>内容 光致抗蚀剂供应商  英文解释
名称:光刻胶;光致抗蚀剂;photoresist
      又称光致抗蚀剂。由感光树脂增感剂和溶剂等组成。受到光照后,树脂的溶解性或亲和性发生明显变化,通过显影后将曝光部分和非曝光部分区分开来,形成凹凸表面。在光刻工艺中,如曝光部分被溶解,非曝光部分留下来的光刻胶称为正型光刻胶。反之,非曝光部分被溶解,曝光部分留下来的光刻胶称为负型光刻胶。

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