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英文解释
名称:
六氟乙烷;hexafluoroethane
分子式:C
2
F
6
CAS号:
性质:纯度>99.7%。为无色无臭无味不可燃的
惰性气体
。微溶于水。熔点-100.6℃。沸点-78℃,液体密度1.60g/ml。以碳型材料直接氟化并经低温精馏、分离、纯化可制得纯度大于99.7%的产品。在微电子工业中用于等离子
蚀刻
及表面清洗。
提示:大部分词条有不同角度的多个解释,欲全面了解请查看下面的“更多相关内容”。
结构式:
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9)
氯甲基环氧乙烷与氨的聚合物和氯甲烷的反应产物;Oxirane, (chloromethyl)-,……
10)
氟;fluorine
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