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名称:六氟乙烷;hexafluoroethane
分子式:C2F6
CAS号:

性质:纯度>99.7%。为无色无臭无味不可燃的惰性气体。微溶于水。熔点-100.6℃。沸点-78℃,液体密度1.60g/ml。以碳型材料直接氟化并经低温精馏、分离、纯化可制得纯度大于99.7%的产品。在微电子工业中用于等离子蚀刻及表面清洗。

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