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文献名称:拖动分子泵的压缩比——工作间隙的自泄漏模型(续)
    前言:本文提出了拖动分子泵的自泄漏模型,并利用该模型讨论了分子流状态下,拖动泵的槽间泄漏对压缩比的影响及其对策。理论结果与实测值符合得很好。自泄漏模型为发展新一代高抽速、高流量分子泵提供了重要的理论基础。
    Abstract A model of self leakage in molecular drag pumps(MDP) is set up. Effects of leakage between two neighboring pumping channels to compression ratio are discussed detailly in molecular state by using the model. Theoritical results agree well with experimental data. The model provides a good method to develop a new generation of molecular drag pumps with high pumping speed and large throughput.
文献名称 拖动分子泵的压缩比——工作间隙的自泄漏模型(续)
Article Name
英文(英语)翻译
Compression Ratio of Molecular Drag Pumps ——a Model of Self leakage of Molecular Drag Pumps;
作者 储继国;
Author Chu Jiguo (Department of Applying Physics;Shenzhen University);
作者单位
Author Agencies
深圳大学应用物理系;
文献出处
Article From
中国科学院上海冶金研究所; 材料物理与化学(专业) 博士论文 2000年度
关键词 分子泵; 泄漏; 自泄漏; 压缩比;
Keywords
拖动分子泵的抽速
盘型分子泵3D流动的数学模型
拖动分子泵的压缩比——工作间隙的自泄漏模型
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